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中圖儀器CEM3000高分辨率科研臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析,。不同于立式電鏡,CEM3000系列臺式掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統,,這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上,,在用戶手邊實時呈現所得結果,。
此外,,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱,、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術,,展現性能。
憑借CEM3000系列空間分辨率出色和易用性強,,用戶能夠非??旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,,無需過多人工調節(jié),,便可一鍵得到理想的拍攝圖片。CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計,,讓用戶在使用時不再等待,,且全系列可選配低真空系統,以便精準調節(jié)樣品倉內真空度,,滿足不同樣品的觀測需求,。
產品功能
1.高分辨率,滿足用戶觀測需求,;
2.快速抽放氣,,縮短等待時間;
3.高易用性
可快速成像,,一鍵成片,;
4.多種成像參數
滿足專業(yè)用戶的調節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力,;
6.可選配低真空模式,,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測,。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品,;
8.多探測器
可實現四分窗同時掃描成像,。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片,,無需過多人工調節(jié),。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,。
3.超大景深毫米級別景深,,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異,。
產品型號
CEM3000高分辨率科研臺式掃描電鏡設有CEM3000A(大樣品倉),、CEM3000B(抗振型)兩款子機型,分別在樣品倉容量,、抗振性方面進行了強化加深和技術拉通,,兩者具有高通用性,但又各有千秋,。
此外,,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,,這使其在材料科學,、生命科學、納米技術,、能源等多個領域得到了廣泛應用,。為客戶提供更適合的產品方案,讓用戶在進行分析時更加得心應手,。
應用領域
該電鏡外型緊湊,,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,,避免使用環(huán)境造成的影響,,拓寬了應用范圍。同時,,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節(jié)功能,,能夠對不同類型的樣品進行觀測,具有高空間分辨率,。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,,同時接收多種信號,對樣品進行分析,。
應用范例:
部分技術指標
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),,優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配:自動合軸、自動聚焦,、自動消像散,、一鍵圖像增強 | |
選配:顆粒度統計、孔隙率測量,、纖維測量,、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,Y,,T |
手動軸 | R,,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉,、電子束旋轉) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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